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消費電子行業(yè)

微小電子元件測試

時間:2018-09-08 16:46:53 作者:鐳爍光電 點擊:

產(chǎn)品描述

一.功能

測量元件高度尺寸

微小電子元件測試

二.方案配置

鐳爍光電激光3D輪廓傳感器 LS-A80007一臺,工控機一臺,控制器一臺

三.方案實施

元件放入治具,治具在輪廓儀下方定位,輪廓儀進(jìn)行取像測量

微小電子元件測試

 

軟件界面:

微小電子元件測試

 

算法簡述:

首先通過捕捉元件的彎曲點或者邊緣點進(jìn)行定位,然后對輪廓進(jìn)行64次均值平滑濾波和9次中位數(shù)濾波,最后利用高度差計算需求的元件尺寸。

軟件特點:

元件的特征點:彎曲點或者邊緣點被捕捉到之后界面顯示擺放OK,此時計算結(jié)果可以進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲,如果元件未被放置到位則提示“未識別到元件”,如下圖所示,此時不會進(jìn)行數(shù)據(jù)保存。大小元件均可直接測量不需要進(jìn)行軟件參數(shù)調(diào)整。數(shù)據(jù)保存以CSV格式,以便用戶以excel打開。

微小電子元件測試

 

四.精度分析

客戶要求精度在10微米以內(nèi),動態(tài)實測重復(fù)精度約為9微米

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