檢測內容:
膠體缺陷檢測
檢測設備:
鐳爍光電激光3D輪廓傳感器LS-A80020
主要性能指標:X方向測量范圍0~18mm,Z方向范圍0~18mm,精度±10μm,重復精度5μm。
檢測原理:
利用激光三角反射原理,激光束被放大成一條激光線投射到被測物體表面上,反射光透過高質量光學系統,投射到成像矩陣上,經計算得到傳感器到被測量表面的距離(Z軸)和沿著激光線的位置信息(X軸),移動被測量物體或者輪廓儀探頭,就可以得到一組三維測量值。
初步說明:
1 獲取的圖像:
2 獲取輪廓數據(第一列為X坐標,第二列為Z向坐標):缺膠數據、溢膠數據、正常數據
3 調用算法求取指定區域內的最低點(數據單位0.001mm),因缺膠區域的最低點比正常情況下低,根據設定的閾值可以判斷是否為缺膠。
正常:
缺膠:
溢膠:
精度分析:因膠體屬于透明體,輪廓儀采集的精度較低,獲取的輪廓數據只可對膠體有無和高低差異進行對比,精度約0.1mm
效率分析:每秒10個截面,假設每個元件測量100個截面,輪廓儀需要約10S。